氯氣（Cl?）作為一種強氧化性氣體，在半導體制造過程中具有不可替代的作用，主要用于晶圓蝕刻、光刻膠剝離、離子注入清洗等關鍵工藝。例如，在晶圓干法蝕刻環(huán)節(jié)，氯氣可與硅材料發(fā)生化學反應，精確去除特定區(qū)域的半導體材料，實現微米級電路圖案的構建；在光刻膠剝離工藝中，氯氣與氧氣的混合氣體能高效清除光刻膠殘留，確保后續(xù)工藝的潔凈度。

然而，氯氣的化學特性也帶來顯著安全風險：其具、強腐蝕性，空氣中濃度超過0.5ppm時即可引起呼吸道刺激，達到5ppm以上會導致嚴重中毒，甚至危及生命。半導體工廠中，氯氣通常以高壓鋼瓶或管道形式存儲運輸，若發(fā)生閥門泄漏、管道老化或設備故障，極易引發(fā)泄漏事故，不僅威脅操作人員健康，還可能導致生產線停工、設備損壞，造成巨額經濟損失。因此，實時、精準的氯氣濃度監(jiān)測是半導體工廠安全管理的核心環(huán)節(jié)。

深國安作為國內氣體檢測設備領域的專業(yè)廠商，其便攜式氯氣氣體檢測儀憑借高精度、高可靠性和場景適配性，成為半導體行業(yè)氯氣安全監(jiān)測的理想選擇。其核心技術特點包括：

1. 高精度傳感器與快速響應能力

采用進口電化學傳感器或激光光譜傳感器，可實現0-20ppm量程內的精準檢測，分辨率達0.01ppm，響應時間＜3秒，確保在氯氣泄漏初期即可觸發(fā)警報。半導體工藝對環(huán)境污染物極為敏感，微小泄漏可能導致晶圓報廢，而快速響應能力能為操作人員爭取應急處置時間，最大限度降低損失。

2. 多場景適配的便攜設計

• 輕量化與續(xù)航能力：設備重量通常＜300g，配備大容量鋰電池，單次續(xù)航可達8-12小時，滿足半導體工廠多班次巡檢需求；

• 抗干擾與耐用性：外殼采用IP67防塵防水設計，可在半導體車間的無塵環(huán)境、高溫高濕區(qū)域（如清洗工段）或設備密集區(qū)域穩(wěn)定工作，避免粉塵、水汽對檢測精度的影響；

• 多功能報警模式：支持聲光報警（85dB蜂鳴+紅色LED閃爍）、振動報警及數據超標自動記錄，適應嘈雜車間環(huán)境下的警示需求。

3. 智能化數據管理與合規(guī)性支持

設備內置數據存儲功能，可記錄歷史檢測數據（如濃度曲線、報警時間），并通過藍牙或USB接口導出，便于工廠進行安全審計與工藝優(yōu)化。同時，其檢測精度符合國際電工委員會（IEC）及中國《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》（GBZ 2.1-2019）中對氯氣（PC-TWA 1mg/m3，約0.3ppm）的監(jiān)測要求，助力企業(yè)滿足OSHA、SEMI等行業(yè)標準合規(guī)性要求。